Funktionale Nanostrukturen in smarten Mikrosystemen Nanostrukturen, die in Mikrosysteme integriert werden können, liefern wichtige Beiträge, indem sie elektronische Komponenten verkleinern, neue Funktionalitäten ermöglichen, Eigenschaften wesentlich verbessern, Sensoren empfindlicher oder selektiver werden lassen, den Energiebedarf senken, und bei der Systemintegration und der AVT helfen. Für die industrielle Nutzung gilt es, wichtige Fragen zu klären: Wie werden Nanostrukturen ins Mikrosystem integriert? Welche Fertigungsverfahren werden genutzt? Wie stabil sind sie unter realen Einsatzbedingungen? Wie können Nanostrukturen im Mikrosystem charakterisiert und ihre Qualität sichergestellt werden? Wie können die Chancen der Mikro-Nano-Integration Kunden und Mitarbeitern vermittelt werden? Neben Mikrosensorik und AVT rücken neue Technologien wie die 2D-Elektronik in den Fokus, die die Integration komplexer Systeme auch auf Folien und Gläsern ermöglichen.

VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik (VDE/VDI GMM)

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